芯碁微装主导的直写光刻技术国家标准正式实施
摘要 【芯碁微装主导的直写光刻技术国家标准正式实施】记者获悉，芯碁微装主导起草的直写光刻设备GB/T 43725-2024《直写成像式曝光设备》国家标...
【芯碁微装主导的直写光刻技术国家标准正式实施】记者获悉，芯碁微装主导起草的直写光刻设备GB/T 43725-2024《直写成像式曝光设备》国家标准已通过国家标委会的审核，将于2024年10月1日正式实施。该项国家标准旨在弥补行业标准空白，对设备的设计、制造、检测、安装维护、质量检测与保证等全生命周期环节设定统一、科学的技术规则，从而为行业构建一套完备的体系标准。
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