佳能向美国得克萨斯电子研究所交付其最先进纳米压印光刻NIL系统

【佳能向美国得克萨斯电子研究所交付其最先进纳米压印光刻NIL系统】佳能宣布，将向总部位于美国得克萨斯州的半导体联盟得克萨斯电子研究所（TIE）交付佳能最先进的纳米压印光刻NIL系统FPA-1200NZ2C。