SK海力士针对DRAM生产线评估KCTech的超临界流体清洁剂
摘要 【SK海力士针对DRAM生产线评估KCTech的超临界流体清洁剂】SK海力士正在评估KCTech的超临界流体清洁剂是否可用于其DRAM生产线。超临界是指温...
【SK海力士针对DRAM生产线评估KCTech的超临界流体清洁剂】SK海力士正在评估KCTech的超临界流体清洁剂是否可用于其DRAM生产线。超临界是指温度和压力高于其临界点的状态。超临界状态的流体具有介于液体和气体之间的性质,可以轻松溶解晶圆上不需要的残留物和污染物。SK海力士表示,KCTech预计将在年内通过评估,但由于在清洁器中使用超临界流体是一项复杂的技术,因此可能需要更长的时间。
郑重声明:本文版权归原作者所有,转载文章仅为传播更多信息之目的,如作者信息标记有误,请第一时候联系我们修改或删除,多谢。