华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖
摘要 【华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖】华海清科(688120)6月24日晚间公告，公司和清华大学共同...
【华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖】华海清科(688120)6月24日晚间公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。
郑重声明：本文版权归原作者所有，转载文章仅为传播更多信息之目的，如作者信息标记有误，请第一时候联系我们修改或删除，多谢。